Blog

Yarı iletken üretimi, modern bilim ve teknolojinin gelişiminin temel taşıdır; endüstrinin sürekli olarak daha küçük, daha hızlı, daha verimli entegre devreler arayışıyla birlikte, üretim sürecinin hassasiyeti ve teknik karmaşıklığı da artmaktadır; her adım yüksek performanstan ayrılamaz. , yüksek kaliteli ve yüksek hassasiyetli yarı iletken ekipmanlar. Mükemmel performansa sahip yapısal bir seramik malzeme olan silisyum karbür (SiC), yüksek yoğunluk, yüksek ısı iletkenliği, yüksek bükülme mukavemeti, yüksek elastik modül, güçlü korozyon direnci, yüksek sıcaklık direnci vb. özelliklere sahiptir. Bükme üretmek kolay değildir. stres deformasyonu ve termal gerginlik ve gofret epitaksi, aşındırma ve diğer üretim bağlantılarının güçlü korozyon ve ultra yüksek sıcaklık reaksiyon ortamına uyum sağlayabilir. Bu nedenle taşlama ve cilalama, epitaksiyel/oksidasyon/difüzyon ısıl işlemi, litografi, biriktirme, aşındırma ve iyon implantasyonu gibi yarı iletken üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Gofret üretimi oksidasyon, difüzyon, tavlama, alaşım ve diğer ısıl işlem süreçlerinden ayrılamaz ve ısıl işlem sürecinde kullanılan yarı iletken ekipmanlarda oksidasyon fırınları (yatay fırınlar ve dikey fırınlar olarak ikiye ayrılır), hızlı ısıl işlem (RTP, RapidThermalProcessing) bulunur. ) teçhizat. Yüksek çalışma sıcaklığı nedeniyle reaksiyon odasındaki bileşenlerin performans gereksinimleri de yüksektir. Yüksek saflıkta sinterlenmiş silisyum karbür parçalar, yüksek mukavemet, yüksek sertlik, yüksek elastik modül, yüksek özgül sertlik, yüksek ısı iletkenliği, düşük ısıl genleşme katsayısı vb. özelliklere sahiptir ve entegre devre ısıl işleminin reaksiyon odasında vazgeçilmez parçalardır. teçhizat. Esas olarak dikey tekne , kaide , iç tüpler  ve ısı yalıtım bölme plakalarını içerir .

Şu anda, yarı iletken ekipmanlara yönelik yüksek saflıkta sinterlenmiş silisyum karbür pazarının pazar payının çoğuna çoğunlukla Japonya Kyokera Grubu ve Amerika Birleşik Devletleri Quastai gibi yabancı şirketler hakimdir. Uzun vadeli teknolojik birikim ve yenilik sayesinde, yalnızca eksiksiz bir ürün yelpazesi geliştirmekle kalmayıp, aynı zamanda malzeme özellikleri, hassasiyet ve karmaşık yapının işleme teknolojisi de endüstri lideri seviyeye ulaştı. Fotolitografi makinesi, plazma dağlama ekipmanı, film biriktirme ekipmanı ve iyon implantasyon ekipmanı gibi entegre devre çekirdek ekipmanı için özel bileşenler sağlayabilir.