1. Seramik alt tabaka
Alümina, silisyum nitrür, alüminyum nitrür ve silisyum karbür seramikler iyi ısı iletkenliğine, yüksek sıcaklığa ve korozyon direncine sahiptir; elektronik bileşenler ve entegre devre için alt tabakalar üretmek için kullanılabilirler;
2. Seramik gofret tepsisi
Alümina ve silisyum karbür seramikler yüksek sıcaklık direncine ve aşınma direncine sahiptir; RTA (Hızlı Termal Tavlama), PVD (Fiziksel buhar) gibi çeşitli işlemler için levha taşımak amacıyla tepsi üretmek için kullanılabilirler. İyi işleme etkisi ve yüksek verimlilik elde etmek için Biriktirme), ICP (İndüktif Eşleşmiş Plazma), CMP (kimyasal mekanik cila);
3. Seramik vakumlu ayna
Alümina ve silisyum karbür seramikler, hava pompalandığında güçlü emme kuvveti ile iyi bir yüzey yüzeyine sahiptir, ayrıca seramik vakum mandreni yüksek sıcaklık direncine sahiptir ve üretim süreci sırasında levhayı emmek ve aktarmak için yaygın olarak kullanılır ;
4. Gofret teknesi ve tekne braketi
Silisyum karbür ve kuvars, yüksek sıcaklık direncine ve iyi aşınma direncine sahiptir, ayrıca yoğunluk düşüktür ve ağırlık hafiftir, gofret taşımak için wafer boat ve boat braketi üretmeye uygundurlar. difüzyon fırınında difüzyon ve oksidasyon işlemi.
5. Difüzyon fırını tüpü
Kuvars tüp, yüksek sıcaklık direncine ve mükemmel termal stabiliteye sahiptir, yarı iletken plaka plakasının difüzyon ve oksidasyon işlemi için difüzyon fırın tüpü olarak kullanılabilir.