1. Seramik alt tabaka
Silisyum karbür geniş bir enerji aralığına, yüksek termal stabiliteye ve iyi termal iletkenliğe sahiptir; fotovoltaik hücre için alt tabaka üretmek için kullanılabilir.
2. Seramik gofret tepsisi
Alümina ve silisyum karbür seramikler yüksek sıcaklık direncine ve aşınma direncine sahiptir; RTA (Hızlı Termal Tavlama), PVD (Fiziksel buhar) gibi çeşitli işlemler için levha taşımak üzere tepsi üretmek için kullanılabilirler. İyi işleme etkisi ve yüksek verimlilik elde etmek için Biriktirme), ICP (İndüktif Eşleşmiş Plazma), CMP (kimyasal mekanik cila);
3. Seramik vakumlu ayna
Alümina ve silisyum karbür seramikler, hava pompalandığında güçlü emme kuvveti ile iyi bir yüzey yüzeyine sahiptir, ayrıca seramik vakum mandreni yüksek sıcaklık direncine sahiptir ve üretim süreci sırasında levhayı emmek ve aktarmak için yaygın olarak kullanılır ;
4. Gofret teknesi ve tekne braketi
Silisyum karbür ve kuvars, yüksek sıcaklık direncine ve iyi aşınma direncine sahiptir, ayrıca yoğunluğu düşüktür ve ağırlığı hafiftir, üretime uygundurlar gofret teknesi ve tekne braketi, bir difüzyon fırınında difüzyon ve oksidasyon işlemi için gofreti taşımak için.
5. Difüzyon fırını tüpü
Kuvars tüp, yüksek sıcaklık direncine ve mükemmel termal stabiliteye sahiptir, güneş pili silikon plakasının difüzyon ve oksidasyon işlemi için difüzyon fırın tüpü olarak kullanılabilir.
